[近日，天准科技参股的矽行半导体自主研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500获客户正式订单，将交付使用。]

作为半导体制造前道工艺的核心检测装备，明场晶圆缺陷检测设备长期被海外技术垄断。此次面向40nm工艺制程的TB1500获订单，标志我国在前道微观缺陷检测装备领域实现技术节点重大突破，为构建自主可控产业生态奠定关键基石。天准科技已形成覆盖全工艺节点的明场缺陷检测产品矩阵，包含多个系列，精准匹配不同技术节点，满足多元化制程的缺陷检测需求。基于相关发展战略闭环，公司攻克多项核心技术，形成全流程量检测方案集群。未来，天准科技将依托先进技术与算法，向更高精度的半导体量检测挑战进军，加速中国半导体产业链自主可控进程。